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光刻机(lithography)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动。
手动：指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和thita角度来完成对准，对准精度不高。
半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。
自动：指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
光刻工艺定义了半导体器件的尺寸，是IC制造中的关键环节。作为芯片生产流程中最复杂、最关键的步骤，光刻工艺难度最大、耗时最长，芯片在生产过程中一般需要进行20~30次光刻，耗费时间约占整个硅片工艺的40～60%，成本极高，约为整个硅片制造工艺的1/3。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
光刻机是光刻工艺的核心设备，也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备，包含上万个零部件，集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域等多项顶尖技术。作为整个芯片工业制造中必不可少的精密设备——光刻机，其光刻的工艺水平直接决定芯片的制程和性能水平，因此光刻机更是被誉为半导体工业皇冠上的明珠。
光刻机行业市场规模的增量主要来自EUV，全球销量占比27%的EUV与ArF immersion占光刻机市场销售额的82%。EUV光刻机销量31台占比8%，销售额55亿美元同比增长76%，占光刻机市场规模的比例为41%;ArF i销量80台占19%，销售额估计54亿美元同比下降7%，但占全球光刻机市场的40%。值得注意的是，EUV数量占比最小，而金额占比最小，i-Line市场数量占比最高为34%，而金额占比仅为3%，体现出工业不同的价格差距，高端光刻机工艺垄断，下游具备较强议价权，而低端产品虽然销量较高，然而市场价格竞争激烈，价格较低。
报告摘要
1、研究背景
2、研究方法
3、报告简介
第一章 产品定义与分类
第一节 产品定义
第二节 产品分类
一、手动
二、半自动
三、全自动
第三节 产品用途
一、研究所
二、公司
第二章 行业发展现状
第一节 光刻机行业现状概述
第二节 光刻机行业所处生命周期
第三节 光刻机行业政策环境
一、 国内政策（国家及地方相关的标准、规定以及可能得到的政策与资金扶持等）
二、 国外政策
1、产品政策
2、贸易保护政策
第三章 2017-2021年全球光刻机行业运行态势分析
第一节 2017-2021年全球经济运行情况分析
第二节 2017-2021年全球光刻机市场发展概况
第三节 全球光刻机市场需求分析
第四节 全球光刻机行业供需平衡状况分析
一、光刻机行业供需平衡现状
二、影响行业供需平衡的因素分析
第五节 光刻机市场主要国家和地区发展概况
第四章 中国光刻机市场现状分析
第一节 2017-2021年中国光刻机市场发展概况
第二节 2017-2021年中国光刻机行业总体规模
一、光刻机产业总体规模
二、光刻机行业生产区域分布
第三节 中国光刻机市场需求分析
第四节 中国光刻机行业供需平衡状况分析
一、光刻机行业供需平衡现状
二、影响行业供需平衡的因素分析
第五章 光刻机主要品牌分析
第一节 光刻机品牌构成
第二节 品牌满意度分析
第三节 市场竞争程度
一、市场集中度
二、市场竞争类型
三、重点企业市场份额分析
第四节 中国光刻机市场集中度及影响因素分析
第六章 2017-2021年中国光刻机行业市场环境分析
第一节 2017-2021年中国经济运行情况分析
第二节 光刻机行业政策环境分析
一、光刻机行业管理体制分析
二、 光刻机行业相关标准分析
第三节 光刻机行业技术环境分析
一、光刻机行业技术水平现状
二、 光刻机行业专利技术分析
1、光刻机行业专利申请数分析
2、光刻机行业专利公开数量变化情况
3、光刻机行业专利申请人分析
4、光刻机行业热门技术分析
第七章 我国光刻机行业整体运行指标分析
第一节 2017-2021年中国光刻机行业总体规模分析
一、企业数量结构分析
二、人员规模状况分析
三、行业资产规模分析
四、行业市场规模分析
第二节 2021年中国光刻机制造行业结构分析
一、企业数量结构分析
1、不同类型分析
2、不同所有制分析
二、销售收入结构分析
1、不同类型分析
2、不同所有制分析
第三节 2017-2021年中国光刻机行业财务指标总体分析
一、行业盈利能力分析
1、我国光刻机行业销售利润率
2、我国光刻机行业成本费用利润率
3、我国光刻机行业亏损面
二、行业偿债能力分析
1、我国光刻机行业资产负债比率
2、我国光刻机行业利息保障倍数
三、行业营运能力分析
1、我国光刻机行业应收帐款周转率
2、我国光刻机行业总资产周转率
3、我国光刻机行业流动资产周转率
四、行业发展能力分析
1、我国光刻机行业总资产增长率
2、我国光刻机行业利润总额增长率
3、我国光刻机行业主营业务收入增长率
4、我国光刻机行业资本保值增值率
第八章 光刻机市场发展特点分析
第一节 市场周期性、季节性等特点
第二节 市场壁垒
一、市场进入门槛
二、市场成长门槛
三、市场壁垒预测
第三节 市场发展优劣势分析
一、市场发展优势分析
二、市场发展劣势分析
第九章 2017-2021年中国光刻机市场重点区域运行分析
第一节 2017-2021年华东地区光刻机市场运行情况
一、华东地区光刻机市场规模
二、华东地区光刻机市场特点
三、华东地区光刻机市场潜力分析
第二节 2017-2021年华南地区光刻机市场运行情况
一、华南地区光刻机市场规模
二、华南地区光刻机市场特点
三、华南地区光刻机市场潜力分析
第三节 2017-2021年华中地区光刻机市场运行情况
一、华中地区光刻机市场规模
二、华中地区光刻机市场特点
三、华中地区光刻机市场潜力分析
第四节 2017-2021年华北地区光刻机市场运行情况
一、华北地区光刻机市场规模
二、华北地区光刻机市场特点
三、华北地区光刻机市场潜力分析
第五节 2017-2021年西北地区光刻机市场运行情况
一、西北地区光刻机市场规模
二、西北地区光刻机市场特点
三、西北地区光刻机市场潜力分析
第六节 2017-2021年西南地区光刻机市场运行情况
一、西南地区光刻机市场规模
二、西南地区光刻机市场特点
三、西南地区光刻机市场潜力分析
第七节 2017-2021年东北地区光刻机市场运行情况
一、东北地区光刻机市场规模
二、东北地区光刻机市场特点
三、东北地区光刻机市场潜力分析
第十章 光刻机产品主要生产企业分析
第一节 浙江启尔机电技术有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第二节 福建福晶科技股份有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第三节 长春奥普光电技术股份有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第四节 上海微高精密机械工程有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第五节 四川科奥达技术有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第六节 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第七节 中电科电子装备集团有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第八节 合肥芯硕半导体有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第九节 北京华卓精科科技股份有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第十节 上海微电子装备（集团）股份有限公司
一、基本情况
二、企业主要产品（服务）及市场定位
三、企业财务分析
1、企业主要经济指标分析
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、竞争优劣势
五、发展战略
第十一章 光刻机行业上下游产业分析
第一节 光刻机产业结构分析
第二节 上游产业分析
一、行业现状
二、市场现状分析
1、光学镜头
2、激光器
3、光速矫正器
三、发展趋势预测
四、行业竞争状况及其对光刻机行业的意义
第三节 下游产业分析
一、行业现状
二、市场现状分析
1、研究所
2、公司
三、发展趋势预测
四、行业新动态及其对光刻机行业的影响
五、行业竞争状况及其对光刻机行业的意义
六、产业结构调整方向分析
第十二章 市场替代品互补产品分析
第一节 产品替代品分析
一、替代品种类
二、替代品对光刻机行业的影响
三、替代品发展趋势
第二节 产品互补品分析
一、互补品种类
二、互补品对光刻机行业的影响
三、互补品发展趋势
第十三章 市场热点深度分析
第一节 市场产业链分析及延长策略
第二节 转变经济增长结构对市场影响
第三节 低碳循环经济对市场发展影响
第四节 市场“十四五”发展规划要点
第五节 国家区域协调发展规划对市场发展影响
第十四章 光刻机行业发展趋势分析
第一节 光刻机行业政策趋向
第二节 2022-2026年我国光刻机行业趋势分析
一、2022-2026年我国光刻机行业技术发展趋势分析
1、技术发展趋势分析
2、产品发展趋势分析
3、产品应用趋势分析
二、2022-2026年我国光刻机行业市场发展空间
第三节 影响企业生产与经营的关键趋势
一、市场整合成长趋势
二、需求变化趋势及新的商业机遇预测
三、企业区域市场拓展的趋势
四、影响企业销售与服务方式的关键趋势
第十五章 2022-2026年中国光刻机市场发展前景预测分析
第一节 2022-2026年光刻机市场发展前景
第二节 2022-2026年光刻机市场规模预测
第三节 2022-2026年中国光刻机行业供需预测
一、2022-2026年中国光刻机行业供给预测
二、2022-2026年中国光刻机行业需求预测
三、2022-2026年中国光刻机行业供需平衡预测
第四节 2022-2026年中国光刻机行业前景展望分析
一、产业振兴规划对行业的影响分析
二、基础建设猛增带给行业的机遇分析
三、光刻机迎来政策发展机遇
第五节 光刻机行业竞争格局展望
第十六章 光刻机市场销售渠道及客户群研究
第一节 光刻机市场销售渠道结构
第二节 光刻机市场营销渠道建立策略
一、大客户直供销售渠道建立策略
二、网络经销渠道优化
三、渠道经销管理问题
第三节 光刻机主要客户群分析
一、客户群消费特征分析
二、客户群稳定性分析
三、客户群消费趋势
第十七章 2022-2026年光刻机行业投资机会与风险防范
第一节 2022-2026年中国光刻机制造行业的投资风险
一、市场风险
二、政策风险
三、技术风险
四、行业进入、退出壁垒风险
五、部分产品产能过剩潜在风险
第二节 光刻机行业投融资情况
一、行业资金渠道分析
二、固定资产投资分析
三、兼并重组情况分析
四、光刻机行业投资现状分析
第三节 2022-2026年光刻机行业投资机会
一、产业链投资机会
二、细分市场投资机会
三、重点区域投资机会
四、光刻机行业投资机遇
第四节 2022-2026年光刻机行业投资风险及防范
一、政策风险及防范
二、技术风险及防范
三、供求风险及防范
四、宏观经济波动风险及防范
五、关联产业风险及防范
六、产品结构风险及防范
七、其他风险及防范
第十八章 光刻机行业发展战略研究
第一节 光刻机行业发展战略研究
一、战略综合规划
二、技术开发战略
三、业务组合战略
四、区域战略规划
五、产业战略规划
六、营销品牌战略
七、竞争战略规划
第二节 对我国光刻机品牌的战略思考
一、光刻机品牌的重要性
二、光刻机实施品牌战略的意义
三、光刻机企业品牌的现状分析
四、我国光刻机企业的品牌战略
五、光刻机品牌战略管理的策略
第三节 光刻机经营策略分析
一、光刻机市场细分策略
二、光刻机市场创新策略
三、品牌定位与品类规划
四、光刻机新产品差异化战略
第四节 光刻机行业投资战略研究
一、2022-2026年光刻机行业投资战略
二、2022-2026年细分行业投资战略
第十九章 研究结论及投资建议
第一节 光刻机行业研究结论及建议
第二节 光刻机行业投资建议
一、行业发展策略建议
二、行业投资方向建议
三、行业投资方式建议
第三节 2022-2026年中国光刻机行业的投资建议
一、中国光刻机行业的重点投资区域
二、中国光刻机行业的重点投资产品
1、接触式曝光
2、接近式曝光
3、投影式曝光
4、投影式曝光
根据《电路产业发展研究报告》，我国半导体设备国产化率约为18.8%。该数据包括集成电路、LED、面板、光伏等设备，预计国内集成电路设备国产化率仅为8%左右。细分而言，目前我国企业在去胶设备、清洗设备、刻蚀设备、热处理设备、PVD设备、CVD设备、CMP设备、涂胶显影设备均有突破，部分产品成功实现了国产替代。然而对于光刻设备我国仍处于被掐住喉咙的状况，国产化率仍不到百分之一，市场高度依赖进口，且国产化进程整体较慢。
随着中国大陆代工厂的不断扩建，未来对于国产光刻机的需求不断提升，而当前国内与国外顶尖光刻机制程仍存在较大差距，国产光刻机应从如下几个方面寻求突破：1、产业分工：国内涉及相关光刻机零部件的企业形成产业分工，各取所长研发、提供相应的技术和零部件;2、科研投入：目前国内企业仍存有买办思维，光刻机作为人类智慧的结晶，高科技产物，科研投入必不可少;3、技术突破：汇集顶尖人才对于核心技术优先突破;4、人才积累：注重奖励机制。
整体而言，目前全球光刻设备的格局是：ASML一家独占鳌头，成为唯一的一线供应商，旗下产品覆盖了全部级别的光刻机设备;Nikon高开低走，但凭借多年技术积累，勉强保住二线供应商地位;而Canon只能屈居三线;上海微电子装备(SMEE)作为后起之秀，暂时只能提供低端光刻设备，由于光刻设备对知识产权和供应链要求极高，短期很难达到国际领先水平。
目前光刻机行业已经成为一个高度垄断的行业。如果没有特别原因，这一格局在未来的时间里都很难发生变化。
杭州先略投资咨询有限公司(以下简称“杭州先略”)创立于2008年4月，是一家从事市场调查、行业研究、商业策划、项目咨询、工程咨询及专项调研的综合咨询机构。公司立足浙江，面向全国，放眼世界，以“诚信务实、精诚协作、积极严谨、开拓创新”的作风，竭诚为各地政府机构、科研院校、券商、律师事务所、会计师事务、上市公司及各细分行业企事业单位提供富有战略意义的咨询服务。
公司愿景：成为一家备受客户尊重的国际化综合咨询企业。
公司使命：帮助客户掌握市场先机、研究发展战略，为客户决策提供依据。
企业核心价值：调查研究市场，解决客户问题，帮助客户成功!
